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產(chǎn)品名稱(chēng)： 掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900產(chǎn)品型號：產(chǎn)品時(shí)間： 2023-11-21掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴展性，結合眾多的自動(dòng)化功能，可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標配多功能超大樣品倉，可應對大型樣品的觀(guān)察。
產(chǎn)品介紹
掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900
①SU3900標配多功能超大樣品倉，可應對大型樣品的觀(guān)察
■樣品臺可搭載超大/超重樣品
· 通過(guò)更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設備或樣品
· 選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率
· 具備樣品臺移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*
· 紅外CCD探測器，提高了樣品臺移動(dòng)的安全性
■支持全視野移動(dòng)。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀(guān)察
· 與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導航相機
· 覆蓋整個(gè)可觀(guān)察區域
· 支持360度旋轉
②隨著(zhù)各種自動(dòng)化功能的強化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。
■一個(gè)鼠標就能夠輕松操作的簡(jiǎn)約GUI
■各種自動(dòng)化功能
· 自動(dòng)調整算法經(jīng)改良后，等待時(shí)間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
· 提高了自動(dòng)聚焦精度
· 搭載Intelligent Filament Technology（IFT）
■Multi Zigzag，可實(shí)現多區域的大視野觀(guān)察
■Report Creator，可利用獲得的數據批量生成數據報告
③可提供滿(mǎn)足測試需求的應用解決方案
■可滿(mǎn)足多種觀(guān)察需求的探測器
· 搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀(guān)察
· 高靈敏度半導體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像
■配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種配件
>■SEM/EDS一體化功能*
■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*
■支持圖像測量軟件Image pro
*配件
掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900
| ITEM | SU3800 | SU3900 | |
| 二級電子分解能 | 3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式） | ||
| 15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式） | |||
| 背散射電子分解能 | 4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式） | ||
| 倍率 | ×5～×300,000（照片倍率*1） | ||
| ×7～×800,000（實(shí)際顯示倍率*2） | |||
| 加速電壓 | 0.3kV～30kV | ||
| 低真空度設定 | 6～650 Pa | ||
| 圖像位移 | ±50µm（WD＝10mm） | ||
| 最大樣品尺寸 | 200mm直徑 | 300mm直徑 | |
| 樣品臺 | X | 0～100mm | 0～150mm |
| Y | 0～50mm | 0～150mm | |
| Z | 5～65mm | 5～85mm | |
| R | 360°連續 | ||
| T | －20°～+90° | ||
| 最大可觀(guān)察范圍 | 130mm直徑（R并用） | 200mm直徑（R并用） | |
| 最大可觀(guān)察高度 | 80mm（WD=10mm） | 130mm（WD=10mm） | |
| 電機驅動(dòng) | 5軸電機驅動(dòng) | ||
| 電子光學(xué)系統 | 電子槍 | 中心操控式鎢絲發(fā)射 | |
| 物像鏡頭光圈 | 4孔可動(dòng)光圈 | ||
| 檢測系統 | 二級電子檢測器、高靈敏半導體背散射電子檢測器 | ||
| EDX分析WD | WD＝10mm（T.O.A＝35°） | ||
| 圖像顯示 | 自動(dòng)光軸調整功能 | 自動(dòng)光束調整（AFS→ABA→AFC→ABCC） | |
| 自動(dòng)光軸調整（實(shí)時(shí)級別對齊） | |||
| 自動(dòng)調整光束亮度 | |||
| 自動(dòng)圖像調整功能 | 自動(dòng)亮度和對比度控制（ABCC） | ||
| 自動(dòng)對焦控制（AFC） | |||
| 自動(dòng)標記和焦點(diǎn)功能（ASF） | |||
| 自動(dòng)燈絲飽和度調整（AFS） | |||
| 自動(dòng)光束對準（ABA） | |||
| 自動(dòng)啟動(dòng)（HV-ON→ABCC→AFC） | |||
| 操作輔助功能 | 光機旋轉、動(dòng)態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數據輸入（點(diǎn)對點(diǎn)測量、角度測量、文本）、預設放大、樣品臺位置導航功能（SEM MAP）、光束標記功能 | ||
| 配件 | ■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機、高靈敏度操作低空探測器（UVD）、紅外CCD探測器、攝像機導航系統■軟件:SEM數據管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動(dòng)限制解除功能、EDS集成 | ||
| 配件（外部裝置） | 能量散射X射線(xiàn)分析儀（EDS）、波長(cháng)色散X射線(xiàn)分析儀（WDS）、 | ||
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