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產(chǎn)品名稱(chēng)： 超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列產(chǎn)品型號：產(chǎn)品時(shí)間： 2023-11-21超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長(cháng)時(shí)間穩定運行的冷場(chǎng)成像技術(shù)，同時(shí)還大大提升了高通量、自動(dòng)數據獲取能力。
產(chǎn)品介紹
超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列
先進(jìn)的自動(dòng)化功能：EM Flow Creator 允許客戶(hù)創(chuàng )建連續圖像采集的自動(dòng)化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設置放大倍率、移動(dòng)樣品位置、調節焦距和明暗對比度等。用戶(hù)可以通過(guò)簡(jiǎn)單的鼠標拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個(gè)工作程序。經(jīng)過(guò)調試和確認后，該程序便可以在每次調用時(shí)自動(dòng)獲得高質(zhì)量、重現性好的圖像數據。
靈活的用戶(hù)界面：原生支持雙顯示器，提供靈活、高效的操作空間。6通道同時(shí)顯示與保存，實(shí)現快速的多信號觀(guān)測與采集。1,2,4 或6通道信號可在同一個(gè)顯示器上同時(shí)顯示，可切換內容包括SEM各探測器以及樣品室相機和導航相機?？梢酝ㄟ^(guò)使用兩個(gè)顯示器來(lái)擴展工作空間，可定制的用戶(hù)界面以提高工作效率。
超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列
| 機型 | SU8600 系 | |
| 電子光學(xué)系統 | 二次電子像分辨率 | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| 放大倍率 | 20 to 2,000,000 x | |
| 電子槍 | 冷場(chǎng)發(fā)射電子源，支持柔性閃爍功能，包含陽(yáng)極烘烤系統。 | |
| 加速電壓 | 0.5 to 30 kV | |
| 著(zhù)陸電壓 * | 0.01 to 20 kV | |
| 探測器 | （部分為選配項） | 上探測器(UD) |
| UD ExB能量過(guò)濾器，包含SE/BSE信號混合功能 | ||
| 下探測器(LD) | ||
| 頂探測器(TD) | ||
| TD能量過(guò)濾器 | ||
| 鏡筒內背散射電子探測器(IMD) | ||
| 半導體式背散射電子探測器 (PD-BSED) | ||
| 新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD) | ||
| 陰極熒光探測器(CLD) | ||
| 掃描透射探測器(STEM Detector) | ||
| 附件 | （部分為選配項） | 導航相機、樣品室相機、X射線(xiàn)能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD) |
| 軟件 | （部分為選配項） | EM Flow Creater、HD Capture(最高 40,960×30,720 像素） |
| 樣品臺 | 馬達驅動(dòng)軸 | 5軸馬達驅動(dòng)（X/Y/R/Z/T） |
| 馬達驅動(dòng)軸 | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| 樣品室 | 樣品尺寸 | 最大直徑：150 mm |
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